SF6又称六氟化硫，本身无-毒性，但如果其质量不纯或在电弧作用下分裂成不同的低氟化合物，如硫酰氟、硫酰氟、四氟化硫、氢氟酸等，则具有不同的毒性。
纯净的六氟化硫气体在室温下无色、无味、基本无毒。-它是一种化学性质稳定的卤素化合物，具有良好的绝缘和灭弧性能。
1. 氟化硫酰基
属于无色透明气体，化学性质稳定，有剧毒。动物实验时，可因肺水肿窒息而死；
2.硫酰氟
在室温下，它是气体并且有毒。过度吸入可能会导致肺部、胸腺和脑膜充血，通常会导致在此期间癫痫发作和死亡；
3.四氟化硫
常温下为无色、有刺激性气味的气体，易与水结合形成烟雾，易被人体吸入并侵入肺部，造成肺部损伤，引起呼吸系统疾病；
4.氢氟酸
氢氟酸是一种高度危险和有毒的无机酸，广泛应用于工业领域和日常生活中。氢氟酸有很强的腐蚀性，能引起腐蚀烧伤。其毒性和组织穿透能力较强，即使是小面积的氢氟酸烧伤，也能在短时间内导致死亡。
SF6是一种惰性气体，具有优良的绝缘性，不能被点燃。纯SF6无-毒性，但电解后会释放剧毒物质，可致癌并对肝脏造成严重损害。
因此，当处于六氟化硫气体环境中时，为避免其灭弧毒性，必须立即离开六氟化硫气体环境，开窗通风，加速气体扩散。