反应能力强。当有水和氧气存在时，会进一步与带电材料和水发生反应，从而分解产生有毒或剧毒气体。这些有毒气体主要损害人体的呼吸系统。中毒后会出现感冒、皮肤过敏、恶心呕吐、乏力等不良反应。大剂量吸入时，会发生更严重的后果。
因此，SF6设备在维护和试验过程中应采取以下防护措施：
(1)工作场所通风良好，维修人员应处于上风位置；
(2)佩戴防毒面具、防护手套；
（3）对排出的气体进行回收，或用管道将气体排入下水道，而不是直接排入大气；
（4）休息前或下班后，用肥皂和大量水清洗脸部、颈部、手臂和双手；
（5）如不慎接触大剂量气体，应立即清洗、更换衣服，并及时去医院观察治疗。